硅铝靶

公司生产的硅铝靶材采用先进的热等静压工艺和真空等离子喷涂, 产品包括平面靶、圆弧靶和管靶等类型,具有成分比例范围宽(铝含量为10at%〜90at%)、纯度和密度高、晶粒细小均勾、使用寿命长等优点。硅铝靶材典型的成分比例有90:10wt%、70:30wt%等,也可按照客要求定制特殊成分和规格靶材。

      热等静压硅铝合金靶材具有自主知识产权,已申请发明专利一项,专 利号201610402544.X

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